半导体和光伏行业所需的大量原材料——单晶硅,单晶硅材料是由专用设备“单晶硅晶体生长炉”制备生产而来的,提高单晶硅产能和降低单晶硅生产成本是晶体生产商长期以来,一直要通过设备改进优化解决的技术课题。提高晶体拉速是有效提高生产效率控制生产成本的重要手段之一。
近几年国内外晶体生产商在石墨导流筒内又增加一层钼导流筒(也称导流筒钼衬套),该技术和产品的应用不仅起到隔离石墨与晶棒的直接辐射,而且有效控制了晶棒温度,并且进一步提高了拉晶速度。当下国内外所有生产单晶硅的各类炉型钼导流筒的选择,都是以“平板钼板”来制作导流筒。目前拉晶市场所选择平板式导流筒和波浪线性导流板,都只能解决防止光热辐射,但存在辐射后导流筒内中心高温区集中在所拉单晶棒上,就存在单晶棒温度中心过高,严重影响拉晶速度问题,同时寿命也较低,导致单晶硅制造成本较高。
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